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產品名稱：場發射掃描電子顯微鏡

產品型號：Sigma 560

產品品牌：Zeiss 蔡司

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Sigma 560 場發射掃描電子顯微鏡

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對實體樣品進行高效分析
 

對實體樣品進行高效分析

EDS：通用、高速，助您深入研究

  • Sigma 560的先進EDS幾何學設計可提高分析效率。兩個180°徑向相對的EDS端口確保了即使在低電壓小束流條件下，也能實現高通量無陰影元素分布成像。
  • 樣品倉的附加EBSD和WDS端口不局限于滿足EDS分析。
  • 不導電樣品也可以使用全新的NanoVP lite模式進行分析，并能獲得更強的信號和更高的襯度。
  • 全新的aBSD4探測器可輕松實現表面形貌復雜樣品的圖像采集。

技術

Gemini光學鏡筒截面示意圖，包含電子束推進器、Inlens探測器和Gemini物鏡。
Gemini光學鏡筒截面示意圖，包含電子束推進器、Inlens探測器和Gemini物鏡。

Gemini 1的光學系統

Gemini 1的光學系統由三個元件組成：物鏡、電子束推進器和具有Inlens探測原理的探測器。其中，物鏡的設計將靜電場與磁場的作用力相結合，大大優化光學性能的同時，降低了樣品所處的場影響。如此也可實現對磁性材料等具有挑戰性的樣品的高品質成像。Inlens探測原理通過對二次電子（SE）和/或背散射電子（BSE）的探測來確保高效的信號檢測，同時大幅縮短獲取圖像的時間。電子束推進器保證了小尺寸的電子束斑和高信噪比。
Sigma的Gemini 1光學鏡筒與探測器。1 Inlens探測器，SE或Duo。2 ETSE探測器、3 VPSE、4 C2D、5 aSTEM、6/7 高級EDS探測和不同的背散射探測器，如aBSD1。
Gemini 1光學鏡筒與探測器截面示意圖

靈活探測

Sigma配備了一系列不同的探測器，通過新探測技術對您的樣品進行表征。使用ETSE和Inlens探測器的高真空模式可獲取表面形貌的高分辨率信息。使用VPSE或C2D探測器的可變壓力模式可獲得清晰圖像。使用aSTEM探測器可進行高分辨率透射電子成像。?采用不同的可選BSE探測器（如aBSD探測器）可以深入研究樣品的成分和表面形貌。  
標準VP |模式，氣體分布（粉紅色），電子束裙邊（綠色）。
NanoVP lite模式，氣體分布
標準VP（左）和NanoVP lite（右）模式，氣體分布（粉紅色），電子束裙邊（綠色）。

NanoVP lite模式

采用NanoVP lite模式進行分析和成像，在低電壓條件下可獲得更高的圖像質量，更快速地獲取更準確的分析數據。

●　在NanoVP lite模式下，裙邊效應降低且入射束流的路徑長度（BGPL）減小。裙邊減小會提高SE和BSE成像的信噪比。

●　帶有五段圓弧的伸縮式aBSD可提供出色的材料成分襯度：在NanoVP lite工作過程中，該探測器配備了安裝在極靴下方的束流套管，其可提供高通量及低電壓的成分和表面形貌高襯度成像，適用于可變壓力和高真空條件。

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應用

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材料科學

探索聚合物、纖維、二硫化鉬等材料樣品的圖像。

對聚苯乙烯樣品表面進行斷裂，以了解聚合物界面處的裂紋形成和附著力

對斷裂的聚苯乙烯樣品表面進行成像，以了解聚合物界面處的裂紋形成和附著力。 Sigma 560， 3 kV，60 Pa樣品倉壓力下的NanoVP lite模式，C2D G2。

 
用于藥物傳遞的MSC膠囊（中空介孔二氧化硅）。
由德國科隆大學無機化學研究所的V. Brune博士提供。

用于藥物傳遞的MSC膠囊（中空介孔二氧化硅）。背散射成像顯示了二氧化硅納米膠囊中的氧化鐵顆粒。Sigma 560，HDBSD，5 kV。

以低電壓成像的碳納米管（CNT）。

以低電壓成像的碳納米管（CNT）。Sigma 560，500 V，Inlens SE探測器。

氧化鋁（Al2O3）球體，在500 V表面信息敏感條件下高分辨率成像，可以看到燒結顆粒的表面梯度。

氧化鋁（Al2O3）球體。在500 V表面信息敏感條件下高分辨率成像，可以看到燒結顆粒的表面梯度，某些梯度之間的距離僅為3 nm。Sigma 560，500 V，Inlens SE。

電池正極鋁箔顆粒表面。

電池正極鋁箔顆粒表面。利用材料成分襯度識別Li-NMC上的粘合劑（較暗的材料），使用aBSD成像。

利用化學氣相沉積（CVD）技術在Si/SiO2基材上生長的MoS2 2D晶體：RISE圖像呈現出MoS2晶體的褶皺和重疊部分（綠色）、多層（藍色）及單層（紅色）結構，圖像寬度32 μm。

利用化學氣相沉積（CVD）技術在Si/SiO2基材上生長的MoS2?2D晶體：RISE圖像呈現出MoS2晶體的褶皺和重疊部分（綠色）、多層（藍色）及單層（紅色）結構，圖像寬度32?μm。

生命科學

了解更多有關原生動物或真菌的微觀和納米結構信息，獲取切面樣品或薄片上的超微結構。

在1 kV高真空條件下，使用ETSE探測器輕松完成放射蟲精細鏤空結構成像，圖像寬度183 μm。

在1 kV高真空條件下，使用ETSE探測器輕松完成放射蟲精細鏤空結構成像，圖像寬度183 μm。

在1 kV高真空條件下對蘑菇真菌孢子成像。使用Sigma 500可以在低電壓下對這些精巧脆弱的結構輕松成像。

在1 kV高真空條件下對蘑菇真菌孢子成像。使用Sigma 500可以在低電壓下對這些精巧脆弱的結構輕松成像。

Tricellaria inopinata
由挪威卑爾根大學薩斯海洋分子生物學中心的Anna Seybold和Harald Hausen提供。固著海洋生物苔蘚蟲Tricellaria inopinata的超微結構，觀察視野為30 μm。使用蔡司Sigma 560采集，Sense BSD探測器，1 kV，30 pA。
使用連續切面成像的三維大腦超微結構
由UCL眼科研究所的Peter Munro博士和Hannah Armer提供。

使用連續切面成像技術自動采集的3D大腦超微結構。星形細胞（青色）被識別和分割。

地球科學與自然資源

探索巖石、礦石和金屬。

 
在20 kV下使用YAG-BSD成像的巖石樣品，由于YAG晶體的光傳導性能可高速采集圖像。

在20 kV下使用YAG-BSD成像的巖石樣品，由于YAG晶體的光傳導性能可高速采集圖像。

硫化鎳礦石。礦物EDS面分布圖，圖像寬度3.1 mm。樣品由英國萊徹斯特大學提供。

硫化鎳礦石。礦物EDS面分布圖，圖像寬度3.1 mm。樣品由英國萊徹斯特大學提供。

鐵礦石礦物分析：鐵礦石礦物的拉曼光譜分析，掃描電子顯微鏡圖像和拉曼圖疊加。（赤鐵礦為紅色、藍色、綠色、橙色和粉紅色；針鐵礦為淡藍色）。

鐵礦石礦物分析：鐵礦石礦物的拉曼光譜分析，掃描電子顯微鏡圖像和拉曼圖疊加。（赤鐵礦為紅色、藍色、綠色、橙色和粉紅色；針鐵礦為淡藍色）。

鐵礦石礦物分析，拉曼光譜：赤鐵礦光譜的差異表征了其晶體取向的不同。（赤鐵礦為紅色、藍色、綠色、橙色和粉紅色；針鐵礦為淡藍色）。

鐵礦石礦物分析，拉曼光譜：赤鐵礦光譜的差異表征了其晶體取向的不同。（赤鐵礦為紅色、藍色、綠色、橙色和粉紅色；針鐵礦為淡藍色）。

含石榴石片麻巖的定量EDS主要元素熱圖（Ca），突出了關鍵礦物中的地球化學分區。

含石榴石片麻巖的定量EDS主要元素熱圖（Ca），突出了關鍵礦物中的地球化學分區。

工業應用

了解如何對金屬、合金和粉末進行研究。

非導電二氧化鈦納米顆粒

在40?Pa可變壓力模式下，使用C2D探測器輕松完成對顏料和遮光劑用非導電二氧化鈦顆粒的成像，圖像寬度10?μm。

在20 kV的暗場模式下，使用aSTEM探測器對25 – 50 nm氧化鐵顆粒成像。

在20 kV的暗場模式下，使用aSTEM探測器對25 – 50 nm氧化鐵顆粒成像。

在1 kV下使用aBSD對超導合金樣品成像。

在1 kV下使用aBSD對超導合金樣品成像。（比例尺20 μm）

氧化鋅枝晶

氧化鋅枝晶：檢測儲能系統電極的形態變化。Sigma，ETSE，5 kV。

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